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声学扫描显微镜检查技术的发展趋势

   声学扫描显微镜检查技术的发展趋势

   声学扫描电子显微镜检查作为一种非破坏性试验,在塑封器件的筛选和鉴定检验中得到了广泛的应用。 G5128TB1U随着电子元器件的发展,声学扫描显微镜检查的发展趋势如下:

   (l)随着塑封器件向小型化、轻型化方向发展,对扫描电子显微镜检查也提出了更高的要求,声扫试验会向着更高分辨率发展。因此,超声探头的频率会向着越来越高的方向发展。

   (2)随着对试验效率的提高,尤其是大批量筛选试验的要求,Thm~S△鼷扫描模式(脉冲透射扫描方式)的出现将能够满足这种要求。ThrLl-sCAN是全透式的扫描方式,发射的超声脉冲在样品上方扫描,超声接收器在样品下面接收穿透样品的超声脉冲。如果样品内部某处有缺陷,超声脉冲无法通过,得到一幅黑白分明的图像,这种功能适合大量样品的快速筛选。与脉冲反射方式(A模式、B模式和C模式)相比,Thm~扫描模式具有以下特点:

   ①该扫描模式需要两个探头,而反射方式仅需要一个探头。

   ②利用透射波进行检测、一次扫描就能够展现所有界面的分层等缺陷,无法确定具体哪个界面存在分层;而利用反射波进行检测,能够确定具体哪一个界面存在分层,需要对样品的两面都迸行扫描才能检测到所有界面存在的缺陷,能够提供细节丰富的扫描图片,可以通过峰值检测、传输时间(TOF)和相位翻转检测等方式成像。

   ③相比反射方式,投射方式空间分辨率较低,通常可用于校验脉冲反射方式的检测结果。

   层析扫描声学显微镜(阴认M)的发展使得声学扫描显微镜检查可以获得被检件的高分辨率三维图像信虑、c阴认M成像技术是一个复杂的过程,要获得高分辨率的图像需要对算法的深入研究。在计算机的控制下,样品旋转到每个最佳的角度上,用不同频率进行透射。在每个不同角度和频率下获得正交相位和同相位数据;同时,在每个角度下,通过工作平台的成像获取样品旋转中心。获得准确的重建图像需要的投影次数主要依赖于样品的结构,通常,投影数的增加可以改善重建图像的质量。