校准是确立传感器精度的过程

   简言之,校准是确立传感器精度的过程。一个正确的校准程序确保了传感器的读数符合国际标准,并在需要时进行读数修正。理想的智能传感器在内部执行修正,以提供便于转换的输出信号。因此,校准和修正数据被存储在传感器的非易失性存储器中,例如,以传感器电子数据表的形式(TEDS)。然而与校准有关的费用是智能传感器生产成本的重要组成部分,有时可以通过一些技术来降低,例如晶圆级校准、批量校准或者分类等。

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   自校准是一个术语,定义为使用一整套技术、通过增加传感器的智能性来提高其精度。例如,自校准的第一种形式是附加传感器的共集成,来补偿交叉灵敏度。如果一个精确的激励器能够制造出来,用来在芯片中产生一个参考信号,比 如可以用来校准传感器的灵敏度。从而,是由激励器而不是传感器来决定`总体的精度。有一个例子是零位平衡结构,在反馈环路中使用激励器使得传感器的输入为零。这种方法的一个重要优点是,传感器灵敏度和线性度的误差被环路增益减弱。一个调制的激励器能够用来周期性屏蔽输人信号,以测试和减去它的偏移误差和低频噪声。最后,激励器合并到带有额外传感器的反馈回路,可以用来为传感器的运行创造稳定的环境。因此,传感器运行的最佳条件能够得以实现,并使传感器远离环境变化的影响。然而,因为可追溯性的需求,这样一个自校准的技术不能替代真的校准过程,但它们可以减少所需要的校准点的数目,并且延长校准的时间间隔。